BUSINESS

Quartz 파츠세정

Parts Dry Chemical Cleaning : Quartz

CONTACT POINT

TSDC(티에스디씨)
한사준 과장
TEL : 031-354-7465
E-mail : sj.han@tsdc.co.kr

제품소개

1. Quartz Parts Dry Chemical Cleaning

   1) Dry Cleaning은 Gas를 사용하여 모재(Quartz)에 Damage를 최소화 하기 때문에, 증착된 GaN 만을 완벽하게 제거.

   2) 효과

 구분

Dry Chemical Cleaning  

Wet Cleaning 

 장점

 ▶ 모재에 대한 Damage 최소화로 제품 수명 증가

 ▶ 안정된 수율 확보 가능

 ▶ MO설비 운영 시 관리 효율 극대화

 ▶ 세정 비용이 저렴함(Dry 세정의 40% 수준)

 단점

 ▷ Wet 세정 대비 Cost 높음

 ▷ 무게, 두께 변화로 수율 Hunting 및 수명이 짧음

    3) 세정 가능 부품 : LED MO-CVD Chamber 내 Quartz 재질의 Parts