BUSINESS

Si-C 파츠세정

Parts Dry Chemical Cleaning : Si-C

CONTACT POINT

TSDC(티에스디씨)
한사준 과장
TEL : 031-354-7465
E-mail : sj.han@tsdc.co.kr

제품소개

1. Si-C Parts Dry Chemical Cleaning

   1) Dry Cleaning은 Gas를 사용하여 모재(Graphite+SiC)에 손상을 최소화 하여, 증착된 GaN 만을 완벽하게 제거.

   2) 효과

 구분

Dry Chemical Cleaning  

H2(N2) Baking

 장점

 ▶ 모재에 대한 Damage 최소화로 제품 수명 증가

 ▶ 세정 품질이 우수함

 ▶ AIN의 유일한 세정 솔루션

 ▶ 세정 비용이 저렴함(Dry 세정의 30% 수준)

 단점

 ▷ Wet 세정 대비 Cost 높음

 ▷ 세정 품질 낮음, 수명 단축, AIN 세정 불가

    3) 세정 가능 부품 : LED MO-CVD Chamber 내 Si-C 재질의 Parts