AIN 파츠세정
Parts Dry Chemical Cleaning : AIN
CONTACT POINT
TSDC(티에스디씨)한사준 과장
TEL : 031-354-7465
E-mail : sj.han@tsdc.co.kr
제품소개
1. AIN Parts Dry Chemical Cleaning
1) Dry Cleaning은 Gas를 사용하여 모재(AIN)에 Damage를 최소화 하기 때문에, 증착된 GaN 만을 완벽하게 제거.
2) 효과
구분 |
Dry Chemical Cleaning |
H2(N2) Baking |
장점 | ▶ 모재에 대한 Damage 최소화로 제품 수명 증가 ▶ 세정 품질이 우수함 ▶ AIN의 유일한 세정 솔루션 | ▶ 세정 비용이 저렴함(Dry 세정의 30% 수준) |
단점 | ▷ Wet 세정 대비 Cost 높음 | ▷ 세정 품질 낮음, 수명 단축, AIN 세정 불가 |
3) 세정 가능 부품 : LED MO-CVD Chamber 내 AIN 재질의 Parts