Exhaust Collector Ring은 MO-CVD 공정 중에 사용 되는 Gas의 원활한 배출과 Uniformity의 안정화에 영향을 미치는 Parts로서,

높은 온도에서 지속적인 사용으로 인한 손상 및 Gas Flow 영향성을 최소화 시킨 제품입니다.

■ 특장점 

      1) 적용 Maker/Model : Aixtron社 G3, G4

      2) 재질 : Molybdenum 99.95%

      3) 적용 온도 : 1200℃~ 1400℃

      4) Particle 관리 Spec : >0.3㎛, 10ea 미만

      5) 장기간 사용 해도 Crack이 발생 하지 않고, 고온에 의한 변형이 적음

      6) 고객사 공정 특성에 따라 최적화 설계 및 제작 가능