MO-CVD 공정에서 사용 하는 Heater로 반복적인 온도 상승과 하강으로 인하여 재료의 재결정화를 최적화 하여 열손상 및 변형을 최소화 제품입니다.

      1) 적용 Maker/Model : Veeco社 K456i / Outer Heater, Middle Heater, Inner Heater

      2) 적용 재질 : W, Rhenium, Moly

      3) 고객사 공정 특성에 따라 최적화 설계 및 제작 가능