● Semi-Si Precursor

     BDEAS, DIPAS, Tri-DMAS, SiCl4, etc..

● Semi-Zr, Hf Precursor

    CPTDMAZr, TEMAZr/Hf, TDMAZr/Hf

● MOCVD Precursor

     TMG, TEG, TMIn, TMA,Cp2Mg

● Other Precursor

    TiCl4, DEZ, etc