1.  Wafer Reclaim ( = Wafer 재생 )

     1) 의미 : Substrate 기판 위에 성장된 Epi-Layer 성장층을 제거하여 초기의 Epi-Ready 상태로 전환하는 기술

     2) Wafer Reclaim 가능 기판 : LED Sapphire (PSS) Wafer & SiC Wafer 외 다수

2. Wafer Reclaim 특,장점 : Dry 기술 적용 

    1) Dry 방식의 독자 Reclaim 기술 확보 (고객사 : LG이노텍, 서울바이오시스 외 다수)

    2) Sapphire(PSS), SiC 기판 위에 있는 GaN / AlGaN / AlN - Layer 완벽 제거  

    3) Reclaim Wafer 표면 Damage 없음 → 재생후 Epitaxy 공정 안정성 / 수율 확보 

    4) Reclaim Wafer 두께 변화 없음 → 재생후 Epitaxy 공정 안정성 확보